Obtaining thin hmis films by magnetron spraying

Камилов, Т.С., Рысбаев, А.С., Камардин, А.И., Бурков, А.Т., Новиков, С.В., Клечковская, В.В., Орехов, А.С., Игамов, Б.Д., Бекпулатов, И.Р.

O‘zbekiston fizika jurnali · 2019-yil

Annotatsiya

The technique for producing thin films of higher manganese silicide by magnetron sputtering is considered. The films were obtained on dielectric substrates: sitall СT-35-2 and mica. New results on the structural and transport properties of the films have been obtained.

Maqola ma’lumotlari
MualliflarКамилов, Т.С., Рысбаев, А.С., Камардин, А.И., Бурков, А.Т., Новиков, С.В., Клечковская, В.В., Орехов, А.С., Игамов, Б.Д., Бекпулатов, И.Р.
JurnalO‘zbekiston fizika jurnali
NashriyotЎзбекистон Республикаси Фанлар академияси
ISSN1025-8817, 2181-077X
Nashr sanasi2019-06-21
Jild21
Son3
Betlar153-157
TilIngliz
Ilmiy sohaFizika-matematika
DOI10.52304/.v21i3.74
Indeksga qo‘shilgan2026-08-26

DOI: 10.52304/.v21i3.74 · Maqolaning asl sahifasi

Ilmiy soha

Fizika-matematika

Iqtibos keltirish

APAКамилов, Т.С., Рысбаев, А.С., Камардин, А.И., Бурков, А.Т., Новиков, С.В., Клечковская, В.В., Орехов, А.С., Игамов, Б.Д., & Бекпулатов, И.Р. (2019). OBTAINING THIN HMIS FILMS BY MAGNETRON SPRAYING. O‘zbekiston fizika jurnali, 21(3), 153-157. https://doi.org/10.52304/.v21i3.74
GOST (OAK)Камилов, Т.С. va b. OBTAINING THIN HMIS FILMS BY MAGNETRON SPRAYING // O‘zbekiston fizika jurnali. – 2019. – T. 21, № 3. – P. 153-157. – DOI: 10.52304/.v21i3.74.
MLAКамилов, Т.С., Рысбаев, А.С., Камардин, А.И., Бурков, А.Т., Новиков, С.В., Клечковская, В.В., Орехов, А.С., Игамов, Б.Д., and Бекпулатов, И.Р. “OBTAINING THIN HMIS FILMS BY MAGNETRON SPRAYING.” O‘zbekiston fizika jurnali, 21(3), 153-157, 2019. https://doi.org/10.52304/.v21i3.74
ChicagoКамилов, Т.С., Рысбаев, А.С., Камардин, А.И., Бурков, А.Т., Новиков, С.В., Клечковская, В.В., Орехов, А.С., Игамов, Б.Д., and Бекпулатов, И.Р. “OBTAINING THIN HMIS FILMS BY MAGNETRON SPRAYING.” O‘zbekiston fizika jurnali, 21(3), 153-157 (2019). https://doi.org/10.52304/.v21i3.74
HarvardКамилов, Т.С., Рысбаев, А.С., Камардин, А.И., Бурков, А.Т., Новиков, С.В., Клечковская, В.В., Орехов, А.С., Игамов, Б.Д., and Бекпулатов, И.Р (2019) ‘OBTAINING THIN HMIS FILMS BY MAGNETRON SPRAYING’, O‘zbekiston fizika jurnali, 21(3), 153-157. https://doi.org/10.52304/.v21i3.74
BibTeX
@article{article2019,
  title = {OBTAINING THIN HMIS FILMS BY MAGNETRON SPRAYING},
  author = {Камилов, Т.С. and Рысбаев, А.С. and Камардин, А.И. and Бурков, А.Т. and Новиков, С.В. and Клечковская, В.В. and Орехов, А.С. and Игамов, Б.Д. and Бекпулатов, И.Р.},
  journal = {O‘zbekiston fizika jurnali},
  year = {2019},
  volume = {21},
  number = {3},
  pages = {153-157},
  doi = {10.52304/.v21i3.74},
  url = {https://doi.org/10.52304/.v21i3.74}
}

Boshqa maqola uchun iqtibos tayyorlash

O‘zbekiston fizika jurnali jurnalidan boshqa maqolalar

O‘zbekiston fizika jurnali — barcha maqolalar · 2019-yil arxivi

Камилов, Т.С. — boshqa maqolalari

Fizika-matematika sohasidagi boshqa maqolalar

Fizika-matematika sohasidagi OAK jurnallari