В работе исследуется процесс роста оксидных слоев на кремниевых подложках в контролируемых температурных условиях. Кремниевые пластины окисляли в печи в течение двух часов при температуре от 300°С до 1100°С. Минимальные изменения поверхности наблюдали при температуре ниже 800°C, тогда как при температуре выше 800°C заметные изменения цвета указывали на значительные эффекты окисления. Перед оксидированием кремниевые подложки подвергали тщательной очистке ацетоном, аммиачной перекисью водорода и плавиковой кислотой (HF) с последующей промывкой деионизированной водой. Толщину оксидных слоев измеряли с помощью эллипсометрии. Кроме того, для анализа оксидных слоев использовали инфракрасную спектроскопию с преобразованием Фурье (FTIR). Для каждой температуры получены FTIR-спектры, показывающие данные по поглощению и волновому числу. В частности, мы сосредоточили внимание на оптической плотности в диапазоне от 1000 до 1300 см−1 и изучили ее зависимость от температуры. Наши результаты проливают свет на взаимосвязь между поглощением и температурой, предоставляя ценную информацию о динамике роста оксидного слоя на кремниевых подложках.
| Mualliflar | Ashurov, X.B., Adilov, M.M., Ismatov, A.A., Rakhimov , A.A. |
|---|---|
| Jurnal | O‘zbekiston fizika jurnali |
| Nashr sanasi | 2025-01-21 |
| Jild | 26 |
| Son | 4 |
| Til | Ingliz |
| DOI | 10.52304/.v26i4.570 |
DOI: 10.52304/.v26i4.570 · Maqolaning asl sahifasi
термическое оксидирование, кремниевая пластина, эллипсометрия, FTIR, thermal oxidation, silicon wafer, ellipsometry, FTIR
The dependence of the acousto-optical properties of calcium molybdate crystals on the direction of the wave vector of transverse acoustic waves in the (001) plane was studied by the Bragg light diffraction method. It is…
Представлены численные и аналитические результаты исследования паулиевской восприимчивости двумерного электронного газа в зависимости от концентрации. Анализируются зависимости спиновой восприимчивости от ширины…
Алюминиевые двухионные аккумуляторы представляют собой передовую технологию хранения энергии, характеризующуюся высокой плотностью энергии и использованием доступных, экономически выгодных материалов. В этом…
The interaction between light and surface plasmon polaritons is of great interest in the fundamental physics of light-matter interaction. In this work, the reflection efficiency of magnesium-doped aluminum films with…
We studied the impact of laser rod surface roughness on pumping characteristics in the context of solar lasers. We propose a new approach for modeling light reflectance and transmission from rough surfaces using normal…
The motion of a spinless particle in a potential field has been considered. Then we have derived the wave function and energy spectrum for the particle. It has been obtained the gravitational potential energy.
High-quality crystalline films of Sb2(SxSe1-x)3 solid solutions were obtained by chemical molecular beam epitaxy (CMBE) and vacuum thermal evaporation methods from powders of the binary compounds Sb2S3 and Sb2Se3 on…
In the paper, we perform a statistical analysis of a catalog of lopsided disk-like galaxies and provide empirical relationships between their physical characteristics. We performed a statistical analysis of 2857…
Nanocrystalline hidden layers of CsSi2 and NiSi2 at different depths of the near-surface region of Si were obtained by ion implantation method and subsequent annealing. Thickness and depth of formation, crystal…
In this paper, we analyze the observed data of the apparent surface density of 81 globular clusters (GCs) provided by Gaia DR2. The problems of analyzing these observations and their differences from similar data…