SI/CU PLYONKA TIZIMINING YUZASIDA YARATILGAN NANO O‘LCHOVLI TUZILMALARNING XUSUSIYATLARINI O‘RGANISH

Tursunov, Alisher, Axmedov, Akbar

FarDU ilmiy xabarlari · 2023-yil

Annotatsiya

<p><em>Past energiyali (E0 = 1-5 keV) </em><em>О</em><em><sub>2</sub></em><em><sup>+</sup></em><em>, </em><em>Ва</em><em><sup>+</sup></em><em>, Cu<sup>+ </sup>va </em><em>Со</em><em><sup>+</sup></em><em> ionlarini implantatsiya qilish usuli bilan hamda so‘ngra qizdirilib, erkin nanoplyonka tizimi Si/Cu(100) yuzasida SiO2 va metall silitsidlari nanofazalari va plyonkalari olingan. Ularning sirt morfologiyasi, tarkibi, energiya zonalari parametrlari, ikkilamchi elektron emissiyasi koeffitsientining maksimal qiymati va fotoelektronlarning kvant chiqishi aniqlandi. Xususan, metall silisidlarning taqiqlangan zona oralig‘i 0,3-0,4 eV, qarshilik esa - 100-500 mkOm</em><em>×</em><em>sm ekanligi ko‘rsatilgan.</em></p>

Maqola ma’lumotlari
MualliflarTursunov, Alisher, Axmedov, Akbar
JurnalFarDU ilmiy xabarlari
Nashr sanasi2023-10-26
Jild29
Son2
Betlar19-23
TilO‘zbek
DOI10.56292/sjfsu/vol29_iss2/a129

Kalit so‘zlar

kremniy, plyonka, energiya, nanoelektronika, elektron, oksid, yarimo‘tkazgich, silicon, film, energy, nanoelectronics, electron, oxide, semiconductor.

Ilmiy soha

FarDU ilmiy xabarlari jurnalidan boshqa maqolalar

FarDU ilmiy xabarlari — barcha maqolalar