Kremniy yuzasida nanofazali CU15SI4/SI plyonkalarining shakllanishi va ularning elektrofizik xususiyatlari

Normuradov, Muradulla

FarDU ilmiy xabarlari · 2025-yil

Annotatsiya

Ushbu maqolada monokristall kremniy yuzasida yupqa Cu₁₅Si₄ plyonkalarning hosil bo'lishi, ularning sirt morfologiyasi va plyonka hosil bo'lish mexanizmi haqida ilmiy ma'lumotlar keltirilgan. Magnetronli purkashning turli usullaridan foydalangan holda metallar va silitsidlarning nanoplyonkalarini hosil qilish mexanizmi tushuntirilgan. Plyonkalarning qalinligi SEM yordamida o'lchandi. Elementlarning tarkibi energiya dispers spektri yordamida aniqlandi. Sirt morfologiyasi lazer konfokal mikroskop yordamida tekshirildi. Elektr xususiyatlari SBA-458 yordamida aniqlandi. Optik xususiyatlar IQ spektrofotometr yordamida tahlil qilindi. Mis silitsid plyonkasi hosil bo'lishi mis kristall o'lchamiga va taglik haroratiga bog'liq bo'lib, 467oC haroratda 130 nm qalinlikdagi mis qatlami ostida 75 nm qalinlikdagi Cu₁₅Si4 plyonkasi hosil bo'ldi. Ushbu tadqiqot metall oksidli yarimo'tkazgichli tranzistorlar va yuqori tezlikdagi integral mikrosxemalar (IS) ish faoliyatini yaxshilash uchun mis kremniydan foydalanish imkoniyatlarini ko'rsatdi.

Maqola ma’lumotlari
MualliflarNormuradov, Muradulla
JurnalFarDU ilmiy xabarlari
NashriyotFarg‘ona davlat universiteti
ISSN2010-8419, 2181-1571
Nashr sanasi2025-02-25
Jild31
Son1
Betlar99-99
TilO‘zbek
Ilmiy sohaKimyo
Indeksga qo‘shilgan2026-09-06

Maqolaning asl sahifasi

Kalit so‘zlar

силицид меди, нанопленка, нанофаза, ионно-плазменный., copper silicide, nanofilm, nanophase, ion-plasma.

Ilmiy soha

Kimyo

Iqtibos keltirish

APANormuradov, Muradulla (2025). KREMNIY YUZASIDA NANOFAZALI CU15SI4/SI PLYONKALARINING SHAKLLANISHI VA ULARNING ELEKTROFIZIK XUSUSIYATLARI. FarDU ilmiy xabarlari, 31(1), 99-99. https://journal.fdu.uz/main/article/1618
GOST (OAK)Normuradov, Muradulla KREMNIY YUZASIDA NANOFAZALI CU15SI4/SI PLYONKALARINING SHAKLLANISHI VA ULARNING ELEKTROFIZIK XUSUSIYATLARI // FarDU ilmiy xabarlari. – 2025. – T. 31, № 1. – B. 99-99.
MLANormuradov, Muradulla. “KREMNIY YUZASIDA NANOFAZALI CU15SI4/SI PLYONKALARINING SHAKLLANISHI VA ULARNING ELEKTROFIZIK XUSUSIYATLARI.” FarDU ilmiy xabarlari, 31(1), 99-99, 2025. https://journal.fdu.uz/main/article/1618
ChicagoNormuradov, Muradulla. “KREMNIY YUZASIDA NANOFAZALI CU15SI4/SI PLYONKALARINING SHAKLLANISHI VA ULARNING ELEKTROFIZIK XUSUSIYATLARI.” FarDU ilmiy xabarlari, 31(1), 99-99 (2025). https://journal.fdu.uz/main/article/1618
HarvardNormuradov, Muradulla (2025) ‘KREMNIY YUZASIDA NANOFAZALI CU15SI4/SI PLYONKALARINING SHAKLLANISHI VA ULARNING ELEKTROFIZIK XUSUSIYATLARI’, FarDU ilmiy xabarlari, 31(1), 99-99. https://journal.fdu.uz/main/article/1618
BibTeX
@article{normuradovmuradulla2025,
  title = {KREMNIY YUZASIDA NANOFAZALI CU15SI4/SI PLYONKALARINING SHAKLLANISHI VA ULARNING ELEKTROFIZIK XUSUSIYATLARI},
  author = {Normuradov, Muradulla},
  journal = {FarDU ilmiy xabarlari},
  year = {2025},
  volume = {31},
  number = {1},
  pages = {99-99},
  url = {https://journal.fdu.uz/main/article/1618}
}

Boshqa maqola uchun iqtibos tayyorlash

FarDU ilmiy xabarlari jurnalidan boshqa maqolalar

FarDU ilmiy xabarlari — barcha maqolalar · 2025-yil arxivi

Normuradov, Muradulla — boshqa maqolalari

Kimyo sohasidagi boshqa maqolalar

Kimyo sohasidagi OAK jurnallari