Рентгенофазовый и асм-анализ пленок Mn₄Si₇, осажденных ионно-плазменным методом

Normuradov, Muradulla, Довранов, Кувондик, Акбаров, Исакжон, Туйчиев, Нурбек, Юлдошев, Озодбек, Хамдамова, Гулжахон

FarDU ilmiy xabarlari · 2025-yil

Annotatsiya

В данной работе поликристаллические тонкие пленки марганцевого силицида (Mn₄Si₇) были синтезированы на подложках Si(111) методом ионно-плазменного магнетронного распыления. Исследованы структурные, морфологические и термоэлектрические свойства полученных пленок. Морфология поверхности анализировалась с использованием атомно-силовой микроскопии (АСМ), которая выявила равномерно распределённые нанозерна и характерную шероховатость поверхности. Рентгенофазовый анализ подтвердил формирование тетрагональной кристаллической структуры с доминирующими пиками при определённых углах. Термическая обработка в диапазоне 300–750 K привела к образованию дефектов, которые при более высоких температурах трансформировались в однородные тонкие слои. Метод Ритвельда использовался для уточнения кристаллической структуры и определения индексов Миллера.

Maqola ma’lumotlari
MualliflarNormuradov, Muradulla, Довранов, Кувондик, Акбаров, Исакжон, Туйчиев, Нурбек, Юлдошев, Озодбек, Хамдамова, Гулжахон
JurnalFarDU ilmiy xabarlari
NashriyotFarg‘ona davlat universiteti
ISSN2010-8419, 2181-1571
Nashr sanasi2025-12-31
Jild31
Son4
Betlar110-110
TilRus
Indeksga qo‘shilgan2026-09-06

Kalit so‘zlar

тонкие пленки Mn₄Si₇; магнетронное распыление; ионно-плазменное осаждение; рентгенофазовый анализ; уточнение по Ритвельду., тонкие пленки Mn₄Si₇; магнетронное распыление; ионно-плазменное осаждение; рентгенофазовый анализ; уточнение по Ритвельду.

Iqtibos keltirish

APANormuradov, Muradulla, Довранов, Кувондик, Акбаров, Исакжон, Туйчиев, Нурбек, Юлдошев, Озодбек, & Хамдамова, Гулжахон (2025). РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ И АСМ-АНАЛИЗ ПЛЕНОК Mn₄Si₇, ОСАЖДЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ. FarDU ilmiy xabarlari, 31(4), 110-110. https://journal.fdu.uz/main/article/1005
GOST (OAK)Normuradov, Muradulla va b. РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ И АСМ-АНАЛИЗ ПЛЕНОК Mn₄Si₇, ОСАЖДЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ // FarDU ilmiy xabarlari. – 2025. – T. 31, № 4. – С. 110-110.
MLANormuradov, Muradulla, Довранов, Кувондик, Акбаров, Исакжон, Туйчиев, Нурбек, Юлдошев, Озодбек, and Хамдамова, Гулжахон. “РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ И АСМ-АНАЛИЗ ПЛЕНОК Mn₄Si₇, ОСАЖДЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ.” FarDU ilmiy xabarlari, 31(4), 110-110, 2025. https://journal.fdu.uz/main/article/1005
ChicagoNormuradov, Muradulla, Довранов, Кувондик, Акбаров, Исакжон, Туйчиев, Нурбек, Юлдошев, Озодбек, and Хамдамова, Гулжахон. “РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ И АСМ-АНАЛИЗ ПЛЕНОК Mn₄Si₇, ОСАЖДЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ.” FarDU ilmiy xabarlari, 31(4), 110-110 (2025). https://journal.fdu.uz/main/article/1005
HarvardNormuradov, Muradulla, Довранов, Кувондик, Акбаров, Исакжон, Туйчиев, Нурбек, Юлдошев, Озодбек, and Хамдамова, Гулжахон (2025) ‘РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ И АСМ-АНАЛИЗ ПЛЕНОК Mn₄Si₇, ОСАЖДЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ’, FarDU ilmiy xabarlari, 31(4), 110-110. https://journal.fdu.uz/main/article/1005
BibTeX
@article{normuradovmuradulla2025,
  title = {РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ И АСМ-АНАЛИЗ ПЛЕНОК Mn₄Si₇, ОСАЖДЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ},
  author = {Normuradov, Muradulla and Довранов, Кувондик and Акбаров, Исакжон and Туйчиев, Нурбек and Юлдошев, Озодбек and Хамдамова, Гулжахон},
  journal = {FarDU ilmiy xabarlari},
  year = {2025},
  volume = {31},
  number = {4},
  pages = {110-110},
  url = {https://journal.fdu.uz/main/article/1005}
}

Boshqa maqola uchun iqtibos tayyorlash

FarDU ilmiy xabarlari jurnalidan boshqa maqolalar

FarDU ilmiy xabarlari — barcha maqolalar · 2025-yil arxivi

Normuradov, Muradulla — boshqa maqolalari