Релаксационные явления в структурах контактной металлизации, стимулированные термической обработкой

Исмайлов, К.А., Атаубаева, А.Б., Насырова, Г.М.

Ilim ha’m ja’miyet · 2023-yil

Annotatsiya

The effect of heat treatment on the magnitude of internal mechanical stresses in ohmic contacts to Si has been studied. Heat treatment of the Au-Ti-n+-Si contact structure led to sample straightening and in the Au-Ti-Pd2Si-p+-Si contact structure to an increase in the radius of curvature.

Maqola ma’lumotlari
MualliflarИсмайлов, К.А., Атаубаева, А.Б., Насырова, Г.М.
JurnalIlim ha’m ja’miyet
NashriyotНукус давлат педагогика институти
ISSN2010-720x, 2181-1555
Nashr sanasi2023-03-01
Son1-1
Betlar16-18
TilRus
Ilmiy sohaPsixologiya
Indeksga qo‘shilgan2026-08-26

Maqolaning asl sahifasi

Kalit so‘zlar

omik kontakt, kremniy, issiqlik bilan ishlov berish, ichki mexanik kuchlanishlar, egrilik radiusi, омический контакт, кремний, термическая обработка, внутренние механические напряжения, радиус кривизны, ohmic contact, silicon, heat treatment, internal mechanical stresses, radius of curvature

Ilmiy soha

Psixologiya

Iqtibos keltirish

APAИсмайлов, К.А., Атаубаева, А.Б., & Насырова, Г.М. (2023). РЕЛАКСАЦИОННЫЕ ЯВЛЕНИЯ В СТРУКТУРАХ КОНТАКТНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ, СТИМУЛИРОВАННЫЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКОЙ. Ilim ha’m ja’miyet, (1-1), 16-18. https://journal.ndpi.uz/index/article/view/2023-1-1-008
GOST (OAK)Исмайлов, К.А., Атаубаева, А.Б., Насырова, Г.М. РЕЛАКСАЦИОННЫЕ ЯВЛЕНИЯ В СТРУКТУРАХ КОНТАКТНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ, СТИМУЛИРОВАННЫЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКОЙ // Ilim ha’m ja’miyet. – 2023. – № 1-1. – С. 16-18.
MLAИсмайлов, К.А., Атаубаева, А.Б., and Насырова, Г.М. “РЕЛАКСАЦИОННЫЕ ЯВЛЕНИЯ В СТРУКТУРАХ КОНТАКТНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ, СТИМУЛИРОВАННЫЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКОЙ.” Ilim ha’m ja’miyet, (1-1), 16-18, 2023. https://journal.ndpi.uz/index/article/view/2023-1-1-008
ChicagoИсмайлов, К.А., Атаубаева, А.Б., and Насырова, Г.М. “РЕЛАКСАЦИОННЫЕ ЯВЛЕНИЯ В СТРУКТУРАХ КОНТАКТНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ, СТИМУЛИРОВАННЫЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКОЙ.” Ilim ha’m ja’miyet, (1-1), 16-18 (2023). https://journal.ndpi.uz/index/article/view/2023-1-1-008
HarvardИсмайлов, К.А., Атаубаева, А.Б., and Насырова, Г.М (2023) ‘РЕЛАКСАЦИОННЫЕ ЯВЛЕНИЯ В СТРУКТУРАХ КОНТАКТНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ, СТИМУЛИРОВАННЫЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКОЙ’, Ilim ha’m ja’miyet, (1-1), 16-18. https://journal.ndpi.uz/index/article/view/2023-1-1-008
BibTeX
@article{article2023,
  title = {РЕЛАКСАЦИОННЫЕ ЯВЛЕНИЯ В СТРУКТУРАХ КОНТАКТНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ, СТИМУЛИРОВАННЫЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКОЙ},
  author = {Исмайлов, К.А. and Атаубаева, А.Б. and Насырова, Г.М.},
  journal = {Ilim ha’m ja’miyet},
  year = {2023},
  number = {1-1},
  pages = {16-18},
  url = {https://journal.ndpi.uz/index/article/view/2023-1-1-008}
}

Boshqa maqola uchun iqtibos tayyorlash

Ilim ha’m ja’miyet jurnalidan boshqa maqolalar

Ilim ha’m ja’miyet — barcha maqolalar · 2023-yil arxivi

Исмайлов, К.А. — boshqa maqolalari

Psixologiya sohasidagi boshqa maqolalar

Psixologiya sohasidagi OAK jurnallari