КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ СПЕКТРЫ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ИОННО ИМПЛАНТИРОВАННОГО МАРГАНЦЕМ

А р з и к у л о в Э У, С а л а х и т д и н о в Ф A, С р а ж е в С Н, Т а ш б о е в М Д

Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi · 2021-yil

Annotatsiya

Методом спектроскопии комбинационного рассеяние света (КРС) исследованы различные пики образцов кремния, имплантированных ионами марганца энергией 40 кэВ. На основе данных КРС, полученных для образцов с различными дозами определены три характерные области: дозе первого соответствует накопление точечных дефектов (3,1∙1012 ÷ 1,2∙1013 см-2 ), второму (3,2∙1013 ÷3,0∙1014 см-2 ) и возникновение зародышей аморфной фазы, третьему (3,0∙1014÷6,0∙1014 см-2 и выше) полная аморфизация приповерхностного слоя кремния

Maqola ma’lumotlari
MualliflarА р з и к у л о в Э У, С а л а х и т д и н о в Ф A, С р а ж е в С Н, Т а ш б о е в М Д
JurnalSamarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi
Nashr sanasi2021-06-19
Jild5
Son129/2
Betlar1-7
Tilru
DOI10.59251/2181-1296.v5.1292.862

Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi jurnalidan boshqa maqolalar

Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi — barcha maqolalar