Колебательные спектры монокристаллов кремния ионно имплантированного марганцем

А р з и к у л о в Э У, С а л а х и т д и н о в Ф A, С р а ж е в С Н, Т а ш б о е в М Д

Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi · 2021-yil

Annotatsiya

Методом спектроскопии комбинационного рассеяние света (КРС) исследованы различные пики образцов кремния, имплантированных ионами марганца энергией 40 кэВ. На основе данных КРС, полученных для образцов с различными дозами определены три характерные области: дозе первого соответствует накопление точечных дефектов (3,1∙1012 ÷ 1,2∙1013 см-2 ), второму (3,2∙1013 ÷3,0∙1014 см-2 ) и возникновение зародышей аморфной фазы, третьему (3,0∙1014÷6,0∙1014 см-2 и выше) полная аморфизация приповерхностного слоя кремния

Maqola ma’lumotlari
MualliflarА р з и к у л о в Э У, С а л а х и т д и н о в Ф A, С р а ж е в С Н, Т а ш б о е в М Д
JurnalSamarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi
NashriyotСамарқанд давлат университети
ISSN2091-5446, 2181-1296
Nashr sanasi2021-06-19
Jild5
Son129/2
Betlar1-7
TilRus
Ilmiy sohaKimyo
DOI10.59251/2181-1296.v5.1292.862
Indeksga qo‘shilgan2026-09-02

DOI: 10.59251/2181-1296.v5.1292.862 · Maqolaning asl sahifasi · PDF

Ilmiy soha

Kimyo

Iqtibos keltirish

APAА р з и к у л о в Э У, С а л а х и т д и н о в Ф A, С р а ж е в С Н, & Т а ш б о е в М Д (2021). КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ СПЕКТРЫ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ИОННО ИМПЛАНТИРОВАННОГО МАРГАНЦЕМ. Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi, 5(129/2), 1-7. https://doi.org/10.59251/2181-1296.v5.1292.862
GOST (OAK)А р з и к у л о в Э У va b. КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ СПЕКТРЫ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ИОННО ИМПЛАНТИРОВАННОГО МАРГАНЦЕМ // Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi. – 2021. – T. 5, № 129/2. – С. 1-7. – DOI: 10.59251/2181-1296.v5.1292.862.
MLAА р з и к у л о в Э У, С а л а х и т д и н о в Ф A, С р а ж е в С Н, and Т а ш б о е в М Д. “КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ СПЕКТРЫ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ИОННО ИМПЛАНТИРОВАННОГО МАРГАНЦЕМ.” Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi, 5(129/2), 1-7, 2021. https://doi.org/10.59251/2181-1296.v5.1292.862
ChicagoА р з и к у л о в Э У, С а л а х и т д и н о в Ф A, С р а ж е в С Н, and Т а ш б о е в М Д. “КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ СПЕКТРЫ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ИОННО ИМПЛАНТИРОВАННОГО МАРГАНЦЕМ.” Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi, 5(129/2), 1-7 (2021). https://doi.org/10.59251/2181-1296.v5.1292.862
HarvardА р з и к у л о в Э У, С а л а х и т д и н о в Ф A, С р а ж е в С Н, and Т а ш б о е в М Д (2021) ‘КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ СПЕКТРЫ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ИОННО ИМПЛАНТИРОВАННОГО МАРГАНЦЕМ’, Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi, 5(129/2), 1-7. https://doi.org/10.59251/2181-1296.v5.1292.862
BibTeX
@article{article2021,
  title = {КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ СПЕКТРЫ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ИОННО ИМПЛАНТИРОВАННОГО МАРГАНЦЕМ},
  author = {А р з и к у л о в Э У and С а л а х и т д и н о в Ф A and С р а ж е в С Н and Т а ш б о е в М Д},
  journal = {Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi},
  year = {2021},
  volume = {5},
  number = {129/2},
  pages = {1-7},
  doi = {10.59251/2181-1296.v5.1292.862},
  url = {https://doi.org/10.59251/2181-1296.v5.1292.862}
}

Boshqa maqola uchun iqtibos tayyorlash

Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi jurnalidan boshqa maqolalar

Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi — barcha maqolalar · 2021-yil arxivi

Kimyo sohasidagi boshqa maqolalar

Kimyo sohasidagi OAK jurnallari