СОСТАВ И СТРУКТУРА МЕЖФАЗНОЙ ГРАНИЦЫ Si /Al(111) И Si/Cu(111)

Ёркулов, Руслан

Al-Farg'oniy avlodlari · 2024-yil

Annotatsiya

В данной работе приведены результаты экспериментальных исследовании закономерности формирования межфазной границы при напылении Si и Ge на поверхность монокристаллов Al(111) и Cu(111). Установлены оптимальные режимы напыления и отжига для получения систем полупроводник-металл. Определены влияние имплантации ионов бария на состав, морфологию, электронную и кристаллическую структуру системы Si(Ge)/Cu(Al). Показано оптимальная температура создания наногетероструктуры Si-CuSi-Cu. На основе данных ОЭС и ХПЭ впервые установлено, что при напылении Si на поверхность Al и последующего отжига не образуется соединение между атомами Si и Al. Определены параметры энергетических зон CuSi.

Maqola ma’lumotlari
MualliflarЁркулов, Руслан
JurnalAl-Farg'oniy avlodlari
Nashr sanasi2024-03-25
Jild1
Son1
Betlar106-109
TilRus

Kalit so‘zlar

гетероструктура, нанопленки, нанофазы, монокристалл, потерь энергии электронами, интенсивность, плазменные колебания, фотоэлектроны

Ilmiy soha

Al-Farg'oniy avlodlari jurnalidan boshqa maqolalar

Al-Farg'oniy avlodlari — barcha maqolalar