Выращивание и структурное исследование эпитакcиальных слоев твердого раствора Si1-xGex

А.С. Саидов, А Ш Раззоков

Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi · 2020-yil

Annotatsiya

В статье показан выбор оптимального режима технологического процесса роста эпитаксиальных слоев твердых растворов Si1-xGex из оловянного и галлиевого раствора – расплава на подложку Si, с наименьшими плотностями дислокации, которые достигнуты экспериментально нами. Обнаружена экспоненциальная зависимость между величинами плотности дислокации и толщины плёнки. С плавным переменным составом структуры, избегая от разности параметров решеток Si и Ge получены структурно совершённые эпитаксиальные слои Si1-xGex (0

Maqola ma’lumotlari
MualliflarА.С. Саидов, А Ш Раззоков
JurnalSamarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi
NashriyotСамарқанд давлат университети
ISSN2091-5446, 2181-1296
Nashr sanasi2020-04-11
Jild3
Son121/1
Betlar1-10
TilRus
DOI10.59251/2181-1296.v3.1211.1132
Indeksga qo‘shilgan2026-09-02

DOI: 10.59251/2181-1296.v3.1211.1132 · Maqolaning asl sahifasi · PDF

Iqtibos keltirish

APAА.С. Саидов, & А Ш Раззоков (2020). ВЫРАЩИВАНИЕ И СТРУКТУРНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЭПИТАКCИАЛЬНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОГО РАСТВОРА Si1-xGex. Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi, 3(121/1), 1-10. https://doi.org/10.59251/2181-1296.v3.1211.1132
GOST (OAK)А.С. Саидов, А Ш Раззоков ВЫРАЩИВАНИЕ И СТРУКТУРНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЭПИТАКCИАЛЬНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОГО РАСТВОРА Si1-xGex // Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi. – 2020. – T. 3, № 121/1. – С. 1-10. – DOI: 10.59251/2181-1296.v3.1211.1132.
MLAА.С. Саидов, and А Ш Раззоков. “ВЫРАЩИВАНИЕ И СТРУКТУРНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЭПИТАКCИАЛЬНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОГО РАСТВОРА Si1-xGex.” Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi, 3(121/1), 1-10, 2020. https://doi.org/10.59251/2181-1296.v3.1211.1132
ChicagoА.С. Саидов, and А Ш Раззоков. “ВЫРАЩИВАНИЕ И СТРУКТУРНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЭПИТАКCИАЛЬНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОГО РАСТВОРА Si1-xGex.” Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi, 3(121/1), 1-10 (2020). https://doi.org/10.59251/2181-1296.v3.1211.1132
HarvardА.С. Саидов, and А Ш Раззоков (2020) ‘ВЫРАЩИВАНИЕ И СТРУКТУРНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЭПИТАКCИАЛЬНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОГО РАСТВОРА Si1-xGex’, Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi, 3(121/1), 1-10. https://doi.org/10.59251/2181-1296.v3.1211.1132
BibTeX
@article{article2020,
  title = {ВЫРАЩИВАНИЕ И СТРУКТУРНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЭПИТАКCИАЛЬНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОГО РАСТВОРА Si1-xGex},
  author = {А.С. Саидов and А Ш Раззоков},
  journal = {Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi},
  year = {2020},
  volume = {3},
  number = {121/1},
  pages = {1-10},
  doi = {10.59251/2181-1296.v3.1211.1132},
  url = {https://doi.org/10.59251/2181-1296.v3.1211.1132}
}

Boshqa maqola uchun iqtibos tayyorlash

Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi jurnalidan boshqa maqolalar

Samarqand davlat universiteti ilmiy tadqiqotlar axborotnomasi — barcha maqolalar · 2020-yil arxivi

А.С. Саидов — boshqa maqolalari